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2Z-HVS-100: MEMS-Verkapselung unter Hoch-Vakuum mit Getter-Aktivierung

2Z‑HVS-100 -
2 Zonen High Vacuum Sealer zum verschließen von MEMS-Packagings unter Hoch-Vakuum

Mit dem 2Z-HVS-100 ( Vakuum bis 10-6 hPa) lassen sich sehr hoher Zuverlässigkeit Komponeneten hermetisch dicht verschließen. Dabei können die Bauelemente vor der Verkapselung in 2 Zonen bei unterschiedlichen Temperaturen bis 450 °C  prozessiert werden. Auch eine Getter-Aktivierung ist möglich. Es können gleichzeitig bis zu 6 Packagings verarbeitet werden. 

Nennenswert ist die Aufheizrate von 35 K/min im Vakuum. Der PID-Regler ermöglicht die Speicherung von 20 Programmen mit je 100 Programm-Schritten. Über die USB-Schnittstelle und die mitgelieferte, windows-basierte Software UniSoft lassen sich beliebig viele Programme einfach erstellen und abspeichern. Die Prozessdaten können aufgezeichnet und als .csv oder .xls Dateien abgespeichert werden. 

Hervorzuheben ist die automatische Zusammenführung und Verkapselung der Bauelemente, bei der beide Teile letztendlich dieselbe Temperatur haben müssen. Die Beherrschung unterschiedlicher Aufheiz- und/oder Abkühlraten der 2 Prozesszonen in nur einer Kammer stellte eine große Herausforderung dar, die hervorragend gelöst wurde. 

Die offene Bauweise unter Glas erlaubt eine ständige Beobachtung der Prozesse. 

Der elektrische Anschlußwert liegt bei 3,2 kW (230V AC, 1 Phase)  und daher kann das Gerät an jeder üblichen Schuko-Steckdose betrieben werden. Eine Wasserkühlung ist für den Betrieb unerläßlich.

Mit Abmessungen von 200 x 500 x 470 mm (BxHxT) und einem Gewicht von lediglich 23,5 kg handelt es sich um ein äußerst kompaktes Gerät, welches auf jeden Labortisch paßt und auch für die Kleinst- bzw. Prototypenserienfertigung bestens geeignet ist. das System ist somit eine kostengünstige Alternative zu größeren Anlagen.
 

Technische Daten

  • Für 6 Komponenten (Adaptoren)
  • Kammerhöhe 100 mm, Durchmesser 100 mm
  • Temperatur im unteren Heizbereich bis 450 °C, im oberen Bereich bis 200 °C
  • unterer Heizbereich optional bis 600 °C
  • Aufheizrate 35 K/min (im Vakuum)
  • Abkühlrate 25 K/min (im Vakuum)
  • Vakuumfähig bis 10-6 mbar, inkl. Pumpe,  Schieberventil und Vakuummessung
  • USB Schnittstelle incl. Software UniSoft
  • Regler HVS-2604 (20 Programme speicherbar, jeweils mit 100 Schritten)
  • Abmessungen gesamt 200 x 500 x 470 mm (BxHxT)
  • Gewicht 23,5 kg
  • Elektrischer Anschluß 230 V AC 1
  • Frequenz 50-60 Hz
  • Strom max. 16 A
  • Anschlußwert 3,2 kW

Optionen und Zubehör:

HVS-TC zusätzliches Thermoelement zur direkten Messung am Gut, für externes Messgerät
WC I geschlossener Kühlwasserkreislauf

 

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DB_HVS_OKT_2015
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