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RSO-200-HV (Hochvakuum)

Lötofen Modell RSO-Serie

Technische Daten  RSO-200-HV:

  • Beladefläche  (max. Teilegröße): 200 x 170 x 40 mm (LxBxH)
  • Quarzglasprozesskammer (fest montiert) mit Graphitsusceptor
  • mit integriertem Gasein- und -auslass
  • 1 Mass Flow Controller für Stickstoff (5slm)
  • beheizt mittels 12 IR Lampen (9kW)
  • Unterhitze
  • Vakuum: mit externer Pumpe bis 10exp-6 hPA (Turbomolekularpumpe inklusive)
  • Ethernet Anschluss, SPS Steuerung, SIMATIC
  • 7" Touch Panel
  • max. Temperatur: 650 °C

Optionen und Zubehör:

RSO-200-HV Basisgerät mit Hochvakuumausrüstung
RSO-MFC Gaslinie mit Mass Flow Controller (Ansteuerung und Regelung über Software; max. 4 Gaslinien)
RSO-H2 Wasserstoffmodul zur Verwendung von reinem Wasserstoff
RSO-H2S Sicherheitsvorrichtung zur Vemeidung von unkontrolliertem Auslass von Wasserstoff
RSO-PC-xx zusätzliche Ofenkammer zur Benutzung mit einem Steuergerät (Doppelkammerofen); gleichzeitiger Betrieb von beiden Kammern nicht möglich
RSO-QC-xx Ersatz-Quarzkammer
RSO-QP-200 Quarzplatte für RSO-200
RSO-QH-200 Quarz-Halter für RSO-200
RSO-TC zusätzliches Thermoelement zur Messung am Gut; für externes Messgerät (max. 2)
WC III geschlossener Kühlwasserkreislauf

 

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DB_RSO_200_HV_FEB_2017
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