Externes Ameisensäuremodul (inklusive Mass Flow Controller) (auch geeignet für späteren Umbau)

Technische Spezifikationen:

• Das Trägergas (N2) wird durch einen mit Ameisensäure (FA) gefüllten Behälter geführt und nimmt geringe Spuren der Ameisensäure auf. Das Gasgemisch wird über einen PTFE-Schlauch in das RSS-110-S System geführt. Dort wird das Gasgemisch in die Prozesskammer eingelassen.
• Inklusive Anschluss für Einlass von Stickstoff (als Trägergas)
• Inklusive Schlauch (PTFE oder Wellschlauch) zur Verbindung mit Reflow-Lötsystem
• Inklusive Anschlusskabel zur Fernsteuerung durch RSS-110-S Reflow-Lötsystem
• Abmessungen: 290 mm x 150 mm x 104 mm (T x B x H)

Gewicht: ca. 4,1 kg

Integriertes Ameisensäuremodul mit eigener Gaslinie (mit Stickstoff (N2) als Trägergas)

Technische Spezifikation:

• Das Trägergas (N2) wird durch den Ameisensäurebehälter geleitet. Von der flüssigen Ameisensäure (HCOOH) werden kleine Partikel mit dem Gas aufgenommen und in die Prozesskammer eingeleitet. Die Ameisensäure reduziert Sauerstoffatome und verbessert somit die Qualität der Lötung.
• Das Reflow-Lötsystem wird aufgerüstet mit einer zusätzlichen Prozessgaslinie, welche einen eigenen Massenflussregler (mass flow controller, MFC) für Stickstoff (Maximalfluss: 5 Nlm (Normliter/Minute)) als Trägergas für Ameisensäure enthält.

Die Prozesskammer wird mit einem Interlockpin aufgerüstet, welches das ungeplante Öffnen der Prozesskammer während eines Prozesslaufes verhindert.     

Integriertes Ameisensäure-Modul mit gemeinsam genutzter N2-Prozessgaslinie

Technische Spezifikation:

• Das Trägergas (Stickstoff, N2) gelangt in das mit Ameisensäure (HCOOH) gefüllte Gefäß. Von der Flüssigkeitsoberfläche nimmt es geringe Spuren Ameisensäure auf und führt diese in die Prozesskammer. Dort verursacht die Ameisensäure die Reduktion natürlicher Oxidschichten sowie eine verbesserte Benetzbarkeit des Lots.
• Die Standard-Prozessgaslinie (N2) wird geteilt zwischen der direkten Verbindung in die Prozesskammer und der Umleitung durch den mit Ameisensäure gefüllten Behälter (d.h. keine zusätzliche Prozessgaslinie!).
• Der Fluss des Trägergases (Stickstoff, N2) wird geregelt durch den Massendurchflussregler (mass flow controller, MFC) des Standard-Reflowlötsystems.

Die Prozesskammer wird nachgerüstet mit einem Verriegelungspin, welcher das unbeabsichtigte Öffnen der Prozesskammer während eines laufenden Prozesses verhindert.

z.B. Stickstoff,Formiergas, Argon oder jede Art von Inertgasen. Die Durchflussmenge kann definiert werden. 

VAC I Vacuum Basic für Druck in Prozesskammer bis zu 3 hPa

Lieferumfang:

• Absolutdrucksensor (Messbereich: 3...1000 hPa)
• Anzeige und Abspeicherung der Messwerte durch Touch Panel (Pos. 1)
• Rückschlagventil am Ausgang

Vakuumventil DN16 zum Anschluss einer Vakuumpumpe (Vakuumpumpe nicht im Lieferumfang)

• VAC II Komfort-Vakuumoption für Drücke bis zu 10-3 hPa

  z.B. für den Einsatz von Drehschieberpumpen

  Inklusive:

• Digitaler Piezo/Pirani-Transmitter (Messbereich: 1200...5 x 10-4 mbar)
• Messung der Druckwerte und Möglichkeit der Aufzeichnung am Touchpanel
• Rückschlagventil am Ausgang

Vakuumventil DN25

Membranpumpe

Technische Spezifikation:

• Enddruck: 2 mbar
• Pumpleistung: 4,5 m³/h (@ 50 Hz)
• Abmessungen: 230 mm x 380 mm x 170 mm (B x T x H)
• Gewicht: 19 kg

Elektrischer Anschluss: 230 V / 1 Phase / 50 Hz / 370 W

Chemie-Membranpumpe (bei Anwendung von Ameisensäure unbedingt zu empfehlen)

Technische Spezifikation:

• Enddruck: 2 mbar
• Pumpleistung: 4,5 m³/h (@ 50 Hz)
• Abmessungen: 230 mm x 380 mm x 170 mm (B x T x H)
• Gewicht: 19 kg
• Elektrischer Anschluss: 230 V / 1 Phase / 50 Hz / 370 W

Fernsteuerung (EIN/AUS) über Vakuum-Reflowlötsystem (Pos. 1)

Drehschieberpumpe (Pfeiffer Vacuum DUO 3)

Technische Spezifikation:

• Enddruck: 3 x 10-3 mbar
• Pumpleistung: 2,5 m³/h
• Zubehör: Ölfilter
• Elektrischer Anschluss: 230 V / 50 Hz / 1 Phase / 150 W
• Abmessungen: 130 mm x 310 mm x 180 mm (B x T x H)

Gewicht: 10,5 kg

Geschlossener Kühlwasser-Rückkühler

Technische Spezifikationen:

• Kühlleistung: 2,1 kW
• Tankinhalt: 13 l
• Elektrischer Anschluss: 230 V, 1 ~ + N + PE
• Anschlussleistung: 1,3 kW
• Abmessungen: 500 mm x 700 mm x 510 mm (B x T x H)

Gewicht: 52 kg

Geschlossener Kühlwasser-Rückkühler (PCNO26)

Technische Spezifikationen:

• Kühlleistung: 2,6 kW
• Tankinhalt: 13 l
• Elektrischer Anschluss: 230 V, 1 ~ + N + PE
• Anschlussleistung: 2,0 kW
• Abmessungen: 500 mm x 740 mm x 510 mm (B x T x H)

Gewicht: 55 kg

Geschlossener Kühlwasserkreislauf (PCNO39)

Technische Spezifikation:

• Kühlleistung: 3,9 kW
• Tankgröße: 13 l
• Elektrischer Anschluss: Schukostecker:  1 x 230V, 1 ~,  N, PE, 2,4 kW
• Abmessungen: 500 mm x 740 mm x 510 mm (B x T x H)

Gewicht: 62 kg

Geschlossener Rücklaufkühler

Technische Spezifikation:

• Kühlleistung: 8,8 kW
• Tankkapazität: 60 l
• Abmessungen: 760 mm x 760 mm x 1335 mm (B x T x H)
• Gewicht: 140 kg

Elektrischer Anschluss: 400 V / 50 Hz / 3 P + PE / 2,7 kW

Erweiterung der Maximaltemperatur von 400 °C auf 500 °C

Vergrößerung der Kammerhöhe von 60 mm auf 80 mm

Falle für Ameisensäuredämpfe mit je 1 oder 2 Fallen

Technische Beschreibung:
Diese Falle wird zwischen Vakuumventil und Vakuumpumpe eingebaut. Mit Hilfe eines Adsorptionsfilters werden  Ameisensäuredämpfe gebunden und gelangen nicht in die Vakuumpumpe..

Falle für Flussmitteldämpfe (für Schutz der Vakuumpumpe)

Technische Beschreibung:

• Diese Flussmittelfalle wird baulich integriert zwischen dem Vakuumventil und der Vakuumpumpe (an der rechten Seite des VSS-450-300 Systems). Die Flussmitteldämpfe werden von einem Filterelement (Material: Aktivkohle) adsorbiert und können nicht die Vakuumpumpe erreichen.
• Inklusive zweier Adapter DN16KF auf DN25KF, um unterschiedliche Flanschdurchmesser auszugleichen.

Der Wechsel des Filterelements wird empfohlen nach Gebrauch von zwei bis drei Monaten bzw. bei deutlicher Abnahme der Pumpleistung der Vakuumpumpe. Ersatz-Filterelemente sind als Artikel Nr. 19370 erhältlich.

geeignet für den Einsatz von reinem Wasserstoff (100% H2)

Technische Spezifikation:

Metallverrohrung - Swagelokverschraubungen

Inklusive MFC (Massendurchflussmesser, Mass Flow Controller) für reinen Wasserstoff (100% H2)

Inklusive Drucksensor (Messbereich: 1000 ... 5x10E-4 mbar)

Verriegelung der Prozesskammer des Reflow-Lötsystems (RSS-110-S) bei Programmstart (Interlock)

Automatische Überwachung der Leckdichtigkeit der Prozesskammer

Überwachung des H2sflusses durch N2-beaufschlagte Ventile

Vorrichtung zum Abflammen des aus dem Gasauslass austretenden reinen Wasserstoffs zur Verhinderung der Bildung einer explosiven Knallgasmischung außerhalb des Reflow-Lötsystems

Technische Spezifikation:

• Die Sicherheitshaube eignet sich für die Verwendung von Reflow-Lötprozessen oder Vakuumprozessen mit kritischen Prozessen oder Medien bzw. für Geräte, bei denen eine Einhausung aufgrund gewisser Gefährdungen erforderlich ist
• Sie erlaubt die Unterbringung einer optionalen H2-Gasbox (Art.nr. 15011) bzw. H2-O2-Gasbox (Art.nr. 12002) und einer optionalen Abflammvorrichtung (Art.nr. 19485).
• Die Höhe von 1700 mm beinhaltet nicht den optionalen H2-Konzentrationssensor (Art.nr. 15013) oder die optionale Signalsäule (Art.nr. 11008).
• Der Boden der Sicherheitshaube ist leer und erlaubt die Aufstellung eines Wasserkühlsystems (Chiller) oder einer Vakuumpumpe.
• Transparente Seitenwände
• Abluftstutzen zum Anschluss einer Absaugung
• Zweihandbedienung zum Schutz vor Verletztung: zweifache Sicherung zur Schließung der Tür sowie Lichtvorhang
• Simatic Steuerung mit 7"-Touchpanel-Display
• Die Haube wird entweder auf Füßen oder auf Wunsch mit Rollen gebaut 
• Abmessungen: 600 mm x 700 mm x 1700 mm (B x T x H)
• Versorgungsspannung: 200...240 V, 50/60 Hz

Gewicht: ca. 90 kg

Nachrüstung der Prozesskammer mit zusätzlichem Thermoelement

Technische Spezifikation:

• Ein zusätzliches Thermoelement (Länge: 300 mm; Durchmesser: 0,5 mm) erlaubt Messungen auf der Oberfläche der auf der Heizplatte liegenden Substrate.
• Das Zusatz-TC ist mit dem Kunststoffstecker auf der Geräterückseite befestigt und über eine Vakuumdurchführung in die Prozesskammer geführt.

Die Befestigung auf der Geräterückseite erlaubt das Abgreifen des Thermoelement-Signals für externe Messgeräte (nicht im Lieferumfang) durch Verwendung eines hochohmigen Y-Kabels.

Nachrüstung der Prozesskammer mit zusätzlichem Thermoelement mit Datenlogging (nicht RSS-210-S)

Technische Spezifikation:

• Auf der Außenseite der Prozesskammer wird eine Thermoelementbuchse angebracht und eine Ausgleichsleitung zur Prozesssteuerung geführt.
• Das Thermoelement (Typ K (NiCr-Ni), Länge: 300 mm (RSO, RSS, RTP, RVS) bzw. 500 mm (VSS, VPO), Durchmesser: 0,5 mm) wird durch eine Vakuumdurchführung in das Innere der Prozesskammer geführt und kann für Messungen auf der Oberfläche der Substrate verwendet werden.

Die Temperatur des zusätzlichen Thermoelements kann über das Touchpanel des Vakuumprozesssystems (RTP, VPO) bzw. Reflow-Lötsystems (RSO, RSS, RVS, VSS) dargestellt und aufgezeichnet werden.

Atmosphärischer Feuchtigkeits-Analysator

Technische Spezifikation:

• Messbereich der Feuchtigkeit (H2O-Konzentration): 0...500 ppm
• Arbeitsdruck: Atmosphäre

Werte der Feuchtigkeit (H2O-Konzentration) in der Prozesskammer können auf dem Touchpanel dargestellt werden. Falls die Option im Menü "Datenlogger" aktiviert wurde, werden diese Werte auch in den Prozessdaten mitgeschrieben.

Verriegelungsmechanismus

Technische Beschreibung:

• Das Gehäuse des Reflow-Vakuumlötsystems (Pos. 1) wird mit einem Pin zum Verriegeln des Klappengriffs nachgerüstet
• Nach Aktivierung der Interlock-Option (durch Setzen eines Kreuzes im Menü der Prozesssteuerung) kann jedes unbeabsichtigte Öffner des Klappengriffs und damit der Prozesskammer verhindert werden.
• Bei aktivierter Interlock-Option wird der Klappengriff nach Programmende und bei Temperaturen T < 80 °C (abhängig von gesetztem Einstellwert) entriegelt.

Kostenfrei (100% Rabatt) bei gleichzeitiger Bestellung der Option FA III zum Reflow-Lötsystem.

Erweiterung des VSS-450-300 Systems (Pos. 1) um eine farbige Signalsäule

Technische Spezifikation:

• Signalsäule an der festen Rückwand des Prozesssystems

Anzeige des Systemstatus durch visuelle und akustische Signale

Nachrüstung des RSS-210-S Reflow-Lötsystems mit ovalen Fenstern (20 mm hoch, 170 mm breit) auf beiden Seiten des Klappdeckels

Diese Option umfasst eine CCD-Kamera mit einem zum Beobachten des Lötprozesses geeigneten Makroobjektiv, welche mittels passender Halterung fest auf den Klappdeckel unseres Lötsystems montiert wird. Über eine LED-Ringleuchte lässt sich das Lotgut beleuchten.

Technische Spezifikation:

• USB 3.0 Kamera mit Auflösung 2560 x 1920 Pixel inklusive Software für Microsoft Windows
• USB 3.0 Kabel (1,5 m Länge)
• Makro-Objektiv (Edmund, TECHSPEC UC-Series, 12 mm, 1/2")
• Halterung für USB 3.0 Kamera und Makro-Objektivs
• Inklusive manuellem z-Antrieb
• Mechanisch anpassbares LED-Licht (Schwanenhals)

Ein Windows PC mit verfügbarem USB 3.0 Anschluss wird vom Kunden zur Verfügung gestellt.

Strom RSS-110-S EU

230V, P+N+PE, 1,6 kW

Strom RSS-210-S EU

3 x 400V, 50 Hz, 3~ + N + PE, 16 A, 9.0 kW  (IEC 60309, 16 A, 3L+N+PE, 6h)

3 x 208 V, 3~ +PE, Dreieckschaltung, 7,4 kW, 21 A

Technische Spezifikation:

• Nenn-Spannung/-Leistung der IR-Lampen: 230 V/1500 W

Verringerung der maximalen Aufheizrate aufgrund geringerer Leistung

Strom RSS-110-S JAPAN

200 V, 2~ + PE, 1,2 kW

Strom RSS-210-S Japan

3x200V, 3~ +PE, 9.0 kW

Strom RSS-110-S USA

115V, P+PE, 1.2 kW

Erhöhung der Maximaltemperatur des VPO-1000-300 Systems (Pos. 1) auf bis zu 1200 ° C

Technische Spezifikation:

• Standzeit abhängig vom Kühlsystem
• Maximale Haltezeit bei 1200 °C: 10 s

Reduktion der maximalen Aufheizrate

Vergrößerung der Höhe der Prozesskammer von 50 mm auf 100 mm, inklusive Sichtfenster (85 mm breit, 25 mm hoch)

Erhöhung der maximalen Aufheizrate von 150 K/sec auf 200 K/sec

Technische Spezifikation:

• IR-Lampen mit je 2 kW Nennleistung (@ 230V)

Installationsvoraussetzungen: 2 x [3 x 400 V, 3~ + N + PE, Sternschaltung (Y), 32 A, 21 kW>

Erweiterung der Maximaltemperatur von 450 °C auf 600 °C

Technische Spezifikation:

• Verschmälerung der Heizplatte auf beiden Seiten (links, rechts) um je 10 mm (neue Breite: 280 mm)

Abkühlung der Heizplatte: von 600 °C auf 450 °C durch Druckluft; von 450 °C bis Raumtemperatur mit Kühlwasser

Serielle Schnittstelle zwischen VPO-System und externem PC über USB 2.0-Anschluss und ein USB 2.0-Kabel

Fernsteuerung des Öffnens und Schließens von oben, einschließlich Anschluss an die Sicherheitsabdeckung des Außenschranks

möglich ist hier eine zusätzliche eigene Gaslinie mit Mass Flow Controller. Z.B. für Argon, Formiergas, Stickstoff. Andere
Gase auf Anfrage.

möglich sind hier 3 zusätzliche eigene Gaslinien mit Mass Flow Controller. Z.B. für Argon, Formiergas, Stickstoff. Andere ​Gase auf Anfrage.

Kühl- und Temperiergerät - Wassergekühlte Ausführung verwendbar mit Deionat-Leitungen

Technische Spezifikation:

• Kühlmethode: wassergekühlte Ausführung
• Kältemittel: R410A (FKW)
• Steuerung: PID-Regler
• Umgebungstemperatur: 5...45 °C

System des umlaufenden Mediensystems:

• Zirkulierendes Umlaufmedium: deionisiertes Wasser
• Temperatureinstellbereich: 5...35 °C
• Kühlleistung: 9,0 kW (@ 50 Hz)
• Temperaturstabilität: ±0,5 K
• Nenndurchfluss: 29 l/min (@ 50 Hz)
• Fassungsvermögen: 18 l
• Auslass zirkulierendes Umlaufmedium, Rücklaufanschluss für zirkulierendes Umlaufmedium: G 1
• Behälterablass: G 1/4
• Material mit Medienkontakt: Rostfreier Stahl (einschließlich Wärmetauscherlötung), SiC, Kohlenstoff, PP, PE, POM, FKM, NBR, EPDM, PVC, PTFE

Anlagenwassersystem:

• Temperaturbereich: 5...40 °C
• Druckbereich: 3...5 bar (0,3...0,5 MPa)
• Erforderlicher Durchfluss: 25 l/min
• Betriebswasser-Druckdifferenz: min. 3 bar (0,3 MPa)
• Betriebswassereinlauf/-auslauf: G 1/2
• Material mit Medienkontakt: Rostfreier Stahl (einschließlich Wärmetauscherlötung), Bronze, Messing, PTFE, NBR, EPDM

Elektrisches System:

• Spannungsversorgung: 3-phasig 380...415 V AC (50/60 Hz); zulässiger Spannungsbereich ±10% (keine andauernden Spannungsschwankungen)
• Fehlerstromschutzschalter (Standard): Nennstrom: 20 A; Kriechstrom-Empfindlichkeit: 30 mA
• Nenn-Betriebsstrom 50/60 Hz: 6,4/6,7 A
• Nenn-Leistungsaufnahme 50/60 Hz: 3,4/4,2 kW
• Geräuschpegel (Vorderseite 1 m/Höhe 1 m): 65 dB(A)
• Abmessungen: 377 mm x 970 mm x 1080 mm (B x T x H)

Gewicht (trocken): ca. 124 kg

Switchbox für Vakuumpumpe

Technische Spezifikation:

• Für die Fernbedienung der Vakuumpumpe, welche mit einphasigem Wechselstrom (100...230 V AC) versorgt wird
• Integriert in untere Rückseite des RTP/RSO-Systems oder in die linke Seite des VSS/VPO-Systems (Pos. 1)
• Blaue powerCON-Buchse für Stromversorgungskabel (von Steckdose)
• Graue powerCON-Buchse für Pumpenanschlusskabel (zur Vakuumpumpe)
• Inklusive zweier Kabel (jeweils 2 Meter lang): Stromversorgungskabel terminiert mit lokalem Anschlussstecker (siehe Spiegelstrich darunter) und blauem powerCON-Stecker; Pumpenanschlusskabel terminiert mit grauem powerCON-Stecker und Kaltgerätestecker (C13)
• Lokaler Anschlussstecker (BITTE PASSENDEN AUSWÄHLEN UND REST LÖSCHEN!): Dänemark (DS 60884-2-D1), Schuko (CEE 7/4), Japan, USA (NEMA 5-15), Australien, China (GB 1002), Südkorea (CEE 7/4), Schweiz (SEV 1011)
• Abmessungen: 145 mm x 140 mm x 55 mm; Gewicht: 0.5 kg

Kostenlos falls Vakuumpumpe über UniTemp GmbH bezogen wird

Externe Switchbox für Wasserkühler

Technische Spezifikation:

• Für Fernbedienung (Ein-/Ausschalten) des Wasserkühlers (elektrisch versorgt mit einer Phase, 230 V)
• In externem Gehäuse
• Blaue powerCON-Buchse für Stromversorgungskabel (von 230V-Steckdose)
• Graue powerCON-Buchse für Versorgungskabel zum Wasserkühler
• Remote-Buchse für Verbindung zum Reflow-Lötsystem
• Inklusive dreier Kabel (je 2 Meter lang): Stromversorgungskabel (Schukostecker und blauer powerCON-Stecker), Versorgungskabel (grauer powerCON-Stecker), Fernbedienungskabel

Abmessungen: 145 mm x 140 mm x 55 mm; Gewicht: 0,5 kg

Service Cart / Rack auf Rollen für VPO/VSS/RTP/RSO

Gewicht: 40 kg

Abmessungen: 600x780x915mm

Schrank mit integriertem Universalwärmetauscher

Breite: 600 mm; Tiefe: 780 mm

Gesamthöhe: 915 mm

Technische Spezifikation des Universalwärmetauschers:

• Wasserpumpe: 230 V / 50 Hz / 600 W
• Wassertank: 70 Liter
• Kühlkapazität: 10 kW
• Gewicht: 68 kg (bei leerem Tank)
• Wassereinlassdruck: 4 bar (0.5 MPa)

Wasservorlauftemperatur: 16 ... 20 °C

Schrank mit integriertem Universalwärmetauscher

Breite: 600 mm; Tiefe: 780 mm

Gesamthöhe: 915 mm

Technische Spezifikation des Universalwärmetauschers:

• Wasserpumpe: 200 V / 60 Hz / 600 W
• Wassertank: 70 Liter
• Kühlkapazität: 10 kW
• Gewicht: 68 kg (bei leerem Tank)
• Wassereinlassdruck: 4 bar (0.5 MPa)

Wasservorlauftemperatur: 16 ... 20 °C

Schrank mit integriertem Universalwärmetauscher

Breite: 600 mm; Tiefe: 780 mm

Gesamthöhe: 915 mm

Technische Spezifikation des Universalwärmetauschers:

• Wasserpumpe: 400 V / 3~ + P + PE / 50 Hz / 600 W
• Wassertank: 70 Liter
• Kühlkapazität: 10 kW
• Gewicht: 68 kg (bei leerem Tank)
• Wassereinlassdruck: 4 bar (0.5 MPa)

Wasservorlauftemperatur: 16 ... 20 °C

Schrank mit integriertem Universalwärmetauscher
mit gepulverter Blechverkleidung

Breite: 600 mm; Tiefe: 780 mm

Gesamthöhe: 915 mm

Technische Spezifikation des Universalwärmetauschers:

• Wasserpumpe: 200 V / 60 Hz / 600 W
• Wassertank: 70 Liter
• Kühlkapazität: 10 kW
• Gewicht: 68 kg (bei leerem Tank)
• Wassereinlassdruck: 4 bar (0.5 MPa)

Wasservorlauftemperatur: 16 ... 20 °C

Universeller Wärmetauscher

Technische Spezifikation:

• Wasserpumpe: 200-240V, 50-60 Hz, 0.6 kW
• Wassertank: 30 l
• Kühlleistung: 10 kW
• Abmessungen: 504 mm x 714 mm x 412 mm (B x T x H)
• Gewicht: 46 kg (bei leerem Tank)
• Elektrischer Anschluss: 230 V / 50 Hz / 1~ + N + PE / 6 A
• Vorlaufdruck: 5 bar (0,5 MPa)

Vorlauftemperatur: 16...20 °C

Seismische Befestigung des Servicewagens

Technische Beschreibung:

Diese Option beinhaltet die Aufrüstung des Servicewagens mit drei Montagehalterungen und die Bereitstellung von seismischen Vorrichtungen für die seismische Befestigung der Montagehalterungen am Boden.

Stromversorgung RTP-100

3 x 400 V, 3~ + N + PE, 50-60 Hz, Y, 32 A, 20 kW

Strom Japan RTP-100

3 x 200 V, 3~ + PE, 50-60 Hz, 20 kW, 58 A

Strom RTP-100 USA (230V nom.volt.)

3 x 208 V, 3~ + PE, 50-60 Hz, Triangle (D) configuration, 16 kW, 45 A

Nennspannung/-leistung der IR-Strahler: 230 V/1100 W

3 x 400 V, 3~ + N + PE (Sternkonfiguration), 21 kW, 32 A

Bemerkungen:

1) 400 V: Spannung zwischen zwei Phasen (Spannung zwischen einer Phase und Nullleiter: 220 V)

2) Nominelle IR-Lampenspannung/-leistung: 230 V/1000 W

Strom RTP-150 Japan

3 x 200V, 3~ + PE, 24 kW, max. 70 A

Strom RTP-150 USA

3x208V,3~+PE, 20 kW

Strom RTP-200 EU

Elektrische Stromversorgung:

3 x 400 V, 3~ + N + PE, 21 kW, Sternschaltung (Y), 32 A

Nominelle IR-Lampen-Spannung: 230 V

Strom RTP-200 Japan

3x200V,3~+PE, 24 kW

Strom RTP-200 US

3 x 208 V, 3~ + PE, Dreieckkonfiguration (), 23.5 kW, 65 A

Technische Anmerkungen:

1) Nennspannung/-leistung der IR-Strahler: 210 V/1000 W

2) Elektrische Spannung zwischen zwei Phasen: 208 V

3) Elektrische Spannung beim Werksabnahmetest: 200 V

Strom VSS Europa

32A CEE, 3 x 400 V, 3 Phasen  + N + PE, Sternkonfiguration, 18 kW

Bemerkungen:

1) Das Netzkabel wird mit einem 32A-Stecker gemäß IEC 60309 (3L+N+PE, 6h) geliefert.

2) 400 V ist die Spannung zwischen zwei Phasen (230 V ist die Spannung zwischen einer Phase und dem Neutralleiter (Nullleiter))

3) Nominelle Spannung der IR-Lampen: 230 V

Strom VSS-450-300 Japan

3 x 200 V, 3~ + PE, Delta () configuration, 50...60 Hz, 18 kW, 52 A

Strom VSS USA

3 x 208 V, 3~ + PE, Dreieckschaltung (), 15 kW, 54 A

Technische Spezifikation:

Nominale Lampenspannung und -leistung: 230 V/750 W

Reduktion der maximalen Aufheizrate (s. Pos. 1) wegen reduzierter Lampenleistung

Strom RSS-160 EU

230 V, 50 Hz, P+N+PE, 2,4 kW

Strom RSS-160 JAPAN

200 V, 2~ + PE, 2,0 kW

Strom RSS-160 USA

115 V, P + PE, 2.4 kW, 20 A

Bemerkungen:

1) Nominelle Spannung/Leistung einer Heizpatrone: 115 V/400 W

2) Maximalstrom: 20 A

Strom RSO-200 EU

Elektrische Stromversorgung:

3 x 400 V, 3~ + N + PE, 11 kW, Sternschaltung (Y, 3 x 16 A

Nominelle IR-Lampen-Spannung: 230 V

Strom Japan RSO-200

3 x 200 V, 3~ + PE, 50-60 Hz, 12 kVA, max. 35 A

Technische Spezifikation:

Nennleistung/-spannung der IR-Heizer: 1000 W/ 200 V

Gesamte Anzahl der IR-Heizer: 12 Stück (unteres IR-Lampenfeld)

Strom RSO-200 USA

3 x 208 V, 3~ + PE, 10 kW, Dreieckschaltung (), 27 A

Nennspannung der IR-Strahler: 230 V

Strom RSO-300 EU

Elektrische Stromversorgung: 3 x 400 V, 3~ + N + PE, 18 kW, Sternschaltung (Y), 3 x 32 A

Strom RSO-300 Japan

3 x 200V, 3~ + PE, D (triangle) configuration, 24 kW,

Strom RSO-300 US

3x208V,3~+PE, 20 kW

Atmosphärischer Sauerstoff-Analysator

Technische Spezifikation:

• Messbereich der Sauerstoff-(O2)konzentration: 0...1000 ppm (= 0.1 Vol-%)
• Arbeitsdruck: Atmosphäre

Werte der Sauerstoffkonzentration in der Prozesskammer können auf dem Touchpanel dargestellt werden. Falls die Option im Menü "Datenlogger" aktiviert wurde, werden diese Werte auch in den Prozessdaten mitgeschrieben.

Messung der Sauerstoff-Konzentration im Restgas (Gasauslass)

Technische Spezifikation:

• Tragbares Sauerstoff-Messinstrument (Modell GSM-touch von Metrotec GmbH) für Spurenmessung im ppm- und ppb-Bereich
• Ein Teil des aus der Prozesskammer tretenden Abgasstroms wird über ein Vakuumventil in das Sauerstoff-Messinstrument geleitet.
• Die Sauerstoffkonzentration oder der Sauerstoffpartialdrucks können auf einem 7-Zoll-Farbmonitor auf der Frontseite des Sauerstoff-Messinstruments angezeigt werden. Die beiden Werten werden als Stromsignal an das ...-Vakuumprozesssystem übergeben und dort in den Prozessdaten mitgeloggt.
• Die Messung des Sauerstoffkonzentration findet unter atmosphärischen Bedingungen statt.
• Die zu messenden Gase sollten trocken sein und keine Feststoffpartikel größer als 5 µm enthalten.
• Abmessungen: 330 mm x 320 mm x 80 mm (H x B x T, inklusive Tragegriff)
• Gewicht: 3,5 kg

Spannungsversorgung: 230 V AC

Option: Sicherheitsvorrichtung bei Einsatz von Formiergas und Sauerstoff

Technische Spezifikation:

Automatische Messung der Dichtheit von der Kammer bis zum Einlassventil

(integrierter Dichtigkeitstest)

Temperaturerweiterung bis 500 °C (statt einer Aluminiumplatte wird eine schwarz verchromte Kupferplatte als Heizplatte verwendet)

Reduktion der maximalen Aufheizrate auf 90 K/min (= 1,5 K/s)

Zusätzliches (flexibles) Thermoelement mit Monitor-/Loggingfunktion (nur bei RSS-210-S)

Technische Spezifikation:

• Auf der rechten Seite der Heizplatte wird eine Thermoelementbuchse montiert und mittels einer TC-Ausgleichsleitung mit der Prozesssteuerung verbunden.
• Der Thermoelementdraht (Typ K (NiCr-Ni), Länge: 300 mm, Durchmesser: 0,5 mm, mit Keramik-Miniaturstecker) kann an die TC-Buchse angeschlossen werden, um flexible Temperaturmessungen auf der Oberfläche der Substrate durchzuführen.
• Die Temperatur des Zusatz-TCs kann im Touchpanel des RSS-210-S Reflow-Lötsystems angezeigt und mitgeloggt werden.

Die maximale Anzahl der Zusatz-TCs ist zwei (2).

Erhöhung der Maximaltemperatur des Reflow-Lötsystems RSS-210-S (Pos. 1) auf 500 °C

Technische Spezifikation:

• Heizplatte aus vernickeltem Kupfer (anstelle von Aluminium)
• Verringerung der maximalen Aufheizrate auf etwa 120 K/min

Erhöhung des Gesamtgewichts des Reflow-Lötsystems RSS-210-S

Upgrade für RSS-210-S Scharnierabdeckung mit großem Sichtfenster (150mm Durchmesser)

Integriertes Ameisensäuremodul mit eigener Gaslinie (mit Stickstoff (N2) als Trägergas)

Technische Spezifikation:

• Das Trägergas (N2) wird durch den Ameisensäurebehälter geleitet. Von der flüssigen Ameisensäure (HCOOH) werden kleine Partikel mit dem Gas aufgenommen und in die Prozesskammer eingeleitet. Die Ameisensäure reduziert Sauerstoffatome und verbessert somit die Qualität der Lötung.

Das Reflow-Lötsystem wird aufgerüstet mit einer zusätzlichen Prozessgaslinie, welche einen eigenen Massenflussregler (mass flow controller, MFC) für Stickstoff (Maximalfluss: 5 Nlm (Normliter/Minute)) als Trägergas für Ameisensäure enthält.

Integriertes Ameisensäure-Modul mit gemeinsam genutzter N2-Prozessgaslinie für VSS Systeme

Technische Spezifikation:

• Das Trägergas (Stickstoff, N2) gelangt in das mit Ameisensäure (HCOOH) gefüllte Gefäß. Von der Flüssigkeitsoberfläche nimmt es geringe Spuren Ameisensäure auf und führt diese in die Prozesskammer. Dort verursacht die Ameisensäure die Reduktion natürlicher Oxidschichten sowie eine verbesserte Benetzbarkeit des Lots.
• Die Standard-Prozessgaslinie (N2) wird geteilt zwischen der direkten Verbindung in die Prozesskammer und der Umleitung durch den mit Ameisensäure gefüllten Behälter (d.h. keine zusätzliche Prozessgaslinie!).
• Der Fluss des Trägergases (Stickstoff, N2) wird geregelt durch den Massendurchflussregler (mass flow controller, MFC) des Standard-Reflowlötsystems.

Die Prozesskammer wird nachgerüstet mit einem Verriegelungspin, welcher das unbeabsichtigte Öffnen der Prozesskammer während eines laufenden Prozesses verhindert.

Automatische Nachfüllvorrichtung für Ameisensäure
(nur erhältlich  mit Option FAII oder FAIII)

Sicherheitsschrank Größe L

Technische Spezifikation:

• Dieser Sicherheitsschrank eignet sich für die Verwendung von Vakuumprozesssystemen mit einer Prozessgaslinie für reinen Wasserstoff (100% H2) und mit integriertem Universal-Wärmetauscher (UHE, Universal Heat Exchanger)
• Abmessungen: 1000 mm x 1000 mm x 2000 mm (B x T x H)

Gewicht: ca. 175 kg (inklusive Servicewagen, ohne UHE oder Gasbox) - siehe eigene Positionen

Verlängerte Haltezeiten für RTP-100, RTP-150 und RTP-200 Vakuumprozesssysteme

Technische Spezifikation:

1) Anwendbar für alle RTP-150 und RTP-200 Systeme mit Option RTP-HT-150 bzw. RTP-HT-200

2) Anwendbar für RTP-100 Systeme

3) Typ N (NiCrSi-NiSi) Thermoelement anstelle des Typ K (NiCr-Ni) Thermoelements als Referenz-Thermoelement

4) Verbesserte mechanische Stabilität

5) Maximale Haltezeit (RTP-100): 10 min @ 1200 °C; 30 min @ 1100 °C; 1 h @ 1010 °C

6) Maximale Haltezeit (RTP-150, RTP-200): 3 min @ 1200 °C; 6 min @ 1100 °C; 20 min @ 1010 °C

7) Erfordert eine sehr leistungsstarke Kühlwasserversorgung: CAB-UHE (Wassertank mit 70 l Inhalt) oder WC IV (10 kW Kühlleistung)

Integrierte Switchbox für Vakuumpumpe und Wasserkühler

Technische Spezifikation:

• Für die Fernbedienung der Vakuumpumpe und des Wasserkühlers, welche mit einphasigem Wechselstrom (100...230 V AC) versorgt werden
• Integriert in untere Rückseite des RTP-200/VPO-300/VSS-300-Systems (Pos. 1)
• Blaue powerCON-Buchse für Stromversorgungskabel (von Steckdose)
• Graue powerCON-Buchse für Pumpenanschlusskabel (zur Vakuumpumpe)
• Netzkabel des Wasserkühlers: vorhandener Schukostecker wird durch grauen powerCON-Stecker ersetzt
• Inklusive zweier Kabel (jeweils 2 Meter lang): Stromversorgungskabel terminiert mit lokalem Anschlussstecker (siehe Spiegelstrich darunter) und blauem powerCON-Stecker; Pumpenanschlusskabel terminiert mit grauem powerCON-Stecker und Kaltgerätestecker (C13)
• Lokaler Anschlussstecker (BITTE PASSENDEN AUSWÄHLEN UND REST LÖSCHEN!): Dänemark (DS 60884-2-D1), Schuko (CEE 7/4), Japan, USA (NEMA 5-15), Australien, China (GB 1002), Südkorea (CEE 7/4), Schweiz (SEV 1011)

Kostenlos falls Vakuumpumpe über UniTemp GmbH bezogen wird

Erhöhung der maximalen Aufheizrate von 100 K/sec (Strom x2)

Erhöhung der Maximaltemperatur des RTP-150 Systems (Pos. 1) von 1000 °C auf 1200 °C

Technische Spezifikation:

• Haltezeit hängt von verwendetem Kühlsystem ab
• Aufheizrate: T < 1000 °C: bis zu 75 K/s
• Aufheizrate: 1000 °C < T < 1200 °C: bis zu 50 K/s
• Maximale Temperatur: 1200 °C (für eine maximale Haltezeit von 30 s)
• Maximale Haltezeiten: 60 s @ 1100 °C, 3 min @ 1000 °C
• Temperaturüberwachung mittels Thermoelement (Typ K) mit verbessertem Mantelmaterial

Lagerung der Spitze des Thermoelementdrahts in Quarzglasrohr zur Verhinderung des direkten Kontakts mit dem Si-Wafer

Nachrüstung des RSO-210 Reflow-Lötofens mit zusätzlichem oberen IR-Lampenfeld

Technische Spezifikation:

• Nachrüstung der Aluminium-Prozesskammer mit zusätzlichem oberen IR-Lampenfeld

Änderung der elektrischen Stromversorgung von 400V/16A auf 400V/32A (3~ + N + PE)

Beheizte Abdeckung zur Verwendung mit Flussmittel zur Vermeidung von Kondensation von Flussmittel

Anpassung an leichten Überdruck (0,2 Bar Relativdruck)

Technische Erklärung:

Vorbereitung des VSS-450-300 Systems (Pos. 1) für Vakuum und leichten Überdruck (Druckbereich 2...1200 mbar absolut) in Prozesskammer

Vorbereitung des VSS-450-300 Systems (Pos. 1) für Überdruck (max. 0.3 MPa Absolutdruck, max. 2 bar = 28 psi relativ zu Atmosphäre) in Prozesskammer

Drucksensor geeignet sowohl für Vakuum (1000 ... 2 mbar Absolutdruck) als auch für Überdruck (0 ... 2 bar relativ)

Oberes Lampenfeld für VSS-System (Pos. 1) in gekreuzter Anordnung

Technische Spezifikation:

• Gesamte Leistung des oberen IR-Lampenfelds: 18 kW
• Zusätzliche B32-Stromversorgungsbuchse auf der Rückseite des VSS-300/VSS-300-HV Systems

Vergrößerung der maximalen Aufheizrate auf 5 K/s

Heizplatte Druckkammer VSS/VPO

Stand 2_2021

Quartz glass frame surrounding VSS heating plate (4 parts)

Technical specification:

• Material: HSQ 300, opaque

Size: 350 mm x 350 mm x 3mm (W x D x H), with square cutout for heating plate

Trennplatte im Deckel des VPO-1000-300 Systems

Technische Spezifikation:

• Abtrennung des oberen Lampenfelds von Prozesskammer
• Empfohlen bei Verwendung von nicht inerten Prozessgasen
• Material: Quarzglas

Dicke: 3 mm

Ersatz der Standard-Heizplatte (aus isostatischem Graphit) des VSS-450-300 Reflow-Vakuumlötsystems (Pos. 1) durch Heizplatte aus vernickeltem Kupfer, schwarz chromatiert

Begrenzung der Maximaltemperatur auf 350 °C

VPO/VSS-ExOH erweiterte Öffnungshöhe der Kammer 200 mm -> 300 mm

Kammer aus Edelstahl (VA 1.4305) poliert, anstelle von Aluminium, 50 mm

Option zum Anheben von Einzelwafern (Durchmesser 150 mm, 200 mm oder 300 mm) aus mittlerer Ebene

Technische Spezifikation:

• Für Einzelwafer mit 150 mm, 200 mm oder 300 mm Durchmesser
• Einzelwafer mit 150 mm Durchmesser werden unterstützt durch drei Liftpins und vier Stopppins
• Einzelwafer mit 200 mm Durchmesser werden unterstützt durch drei Liftpins und vier Stopppins
• Einzelwafer mit 300 mm Durchmesser werden unterstützt durch drei Liftpins und vier Stopppins
• Länge der Liftpins: 112 mm
• Länge der Stopppins: 117 mm
• Angehobener Einzelwafer kann durch Roboterarm be- und entladen werden

Liftpin-Aktion durch durch manuelle Kontroller (Taster auf Frontpanel) oder durch externes Kontroll-Interface gesteuert werden

Quarzhalter passend für 150mm-Einzelwafer im RTP-150/RTP-150-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält vier (4) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Einzelwafer mit 150 mm Durchmesser

Nach technischer Zeichnung 0015_0966

Quarzhalter passend für Graphitsuszeptor im RTP-150/RTP-150-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält acht (8) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Graphitsuszeptor (Abmessungen: 160 mm x 160 mm)

Nach technischer Zeichnung 0015_0969

Quarzhalter passend für 100mm-Einzelwafer im RTP-100/RTP-100-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält vier (4) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Einzelwafer mit 100 mm Durchmesser

Nach technischer Zeichnung 0081_0500

Quarzhalter passend für Graphitsuszeptor im RTP-100/RTP-100-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält vier (4) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Graphitsuszeptor (Abmessungen: 110 mm x 110 mm)

Suszeptor passend für RTP-150 System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:

• Material: isostatischer Graphit
• Abmessungen: 160 mm x 160 mm x 4 mm (L x B x H; Höhe vorbehaltlich technischer Änderungen)
• Inklusive Sackloch für die Aufnahme des Mess-Thermoelements

Reduzierte Aufheiz- und Abkühlrate (etwa 10 K/sec) aufgrund der thermischen Masse des Suszeptors

Suszeptor passend für RTP-200 und VPO-1000-300 Vakuumprozessöfen

Technische Spezifikation:

• Material: isostatischer Graphit
• Abmessungen: 210 mm x 210 mm

Verfügbare Probenfläche: 206 mm x 206 mm

Suszeptor passend für VPO-1000-300 Vakuumprozessofen

Technische Spezifikation:

• Material: isostatischer Graphit
• Abmessungen: 356 mm x 356 mm x 3 mm (L x B x H)
• Verfügbare Probenfläche: 300 mm x 300 mm
• Inklusive Sackloch für direkten Kontakt des Regel-Thermoelements mit dem Suszeptor (Temperatur-Regelkreis)

Reduktion der Aufheizrate (bis ca. 10 K/sec) und Abkühlrate wegen der thermischen Masse des Suszeptors

Passender Auflagerahmen für Einzelwafer mit 200 mm Durchmesser im VPO-1000-300 System

Technische Beschreibung:

• Minimale Kontaktfläche des Wafers mit dem Quarzglas
• Platzierung des Wafers in der Mitte zwischen beiden IR-Lampenfeldern
• Kein Abschattungseffekt

Individualle Halter für verschiedene Waferdurchmesser (150 mm, 200 mm, 300 mm) verfügbar

Quarzhalter passend für 200mm-Einzelwafer im RTP-200/RTP-200-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält vier (4) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Einzelwafer mit 200 mm Durchmesser

Nach technischer Zeichnung 0016_0092

Standard Quarzhalter in Tür eingebaut für RSO-300

Graphit-Tiegel 260x260x7mm aus isostatischem Graphit , passend für RSO-QH-300

Quarzhalter passend für Graphitsuszeptor im RSO 210/RSO-210-HV System

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas
• Enthält acht (8) Auflagepunkte
• Kompatibel: mit Graphitsuszeptor (Abmessungen: 206 mm x 206 mm)

Nach technischer Zeichnung 0016_0091

Suszeptor passend für RSO-210 System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:

• Material: isostatischer Graphit
• Abmessungen: 201 mm x 201 mm x 7 mm (L x B x H; Höhe vorbehaltlich technischer Änderungen)

Inklusive Sackloch für die Aufnahme des Mess-Thermoelements

Prozesskammermuffel passend für RTP-100 System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglass

Innenabmessungen: 134 mm Weite, 18 mm Höhe

Prozesskammermuffel passend für RTP-100-HV System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:
Material: Quarzglass
Innenabmessungen: 134 mm Weite, 18 mm Höhe

Prozesskammermuffel passend für RTP-150 System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:

• Material: Quarzglas

Innenabmessungen: 214 mm Breite, 40 mm Höhe

Prozesskammermuffel passend für RTP-150 System (Pos. 1)

Technische Spezifikation:
Material: Quarzglas
Innenabmessungen: 214 mm Breite, 40 mm Höhe

Anpassung des RTP-150 Systems (Pos. 1) an eine Glovebox

Technische Beschreibung:
Eine Media Interface Plate (z.B. aus Trespalon hergestellt) repliziert die auf der Rückseite des RTP-150 Systems liegenden Anschlüsse für Stromversorgung (3 x 400 V, 32 A), Kühlwasser (10 mm, 12 mm), eine Prozessgaslinie (N2), Druckluft (CDA), Vakuum (DN 16 KF), Abluft (DN 16 KF) und Netzwerk. Auf beiden Seiten der Media Interface Plate befinden sich die passenden Anschlüsse. Im Lieferumfang enthalten sind die Kabel (Strom, Netzwerk) bzw. Schläuche (Kühlwasser, N2, CDA) und Rohre (Vakuum, Abluft), welche das RTP-150 System mit der Innenseite der Media Interface Plate (in der Glovebox) verbinden. Die Kabel und Schläuche für die Außenseite der Glovebox sind im Lieferumfang des RTP-150 Systems enthalten.

Abmessungen: werden nach der Bestellung festgelegt!

Erhöhung der Maximaltemperatur des RTP-100 Systems (Pos. 1) von 1000 °C auf 1200 °C

Technische Spezifikation:
Haltezeit hängt von verwendetem Kühlsystem ab
Aufheizrate: T < 1000 °C: bis zu 150 K/s
Aufheizrate: 1000 °C < T < 1200 °C: bis zu 100 K/s
Maximale Temperatur: 1200 °C (für eine maximale Haltezeit von 30 s)
Maximale Haltezeiten: 60 s @ 1100 °C, 3 min @ 1000 °C
Temperaturüberwachung mittels Thermoelement (Typ N, NiCrSi - NiSi) mit verbessertem Mantelmaterial
Lagerung der Spitze des Thermoelementdrahts in Quarzglasrohr zur Verhinderung des direkten Kontakts mit dem Si-Wafer (nicht bei Verwendung eines Graphitsuszeptors!)

Erhöhung der Maximaltemperatur und der maximalen Haltezeit des RTP-100 Systems (Pos. 1)

Technische Spezifikation:
Erhöhung der Maximaltemperatur von 1000 °C auf 1200 °C
Haltezeit hängt von verwendetem Kühlsystem ab
Maximale Temperatur: 1200 °C (für eine maximale Haltezeit von 90 s)
Maximale Haltezeiten: 180 s @ 1100 °C, 10 min @ 1000 °C
Temperaturüberwachung mittels Thermoelement (Typ N, NiCrSi - NiSi) mit verbessertem Mantelmaterial
Lagerung der Spitze des Thermoelementdrahts in Quarzglasrohr zur Verhinderung des direkten Kontakts mit dem Si-Wafer (nicht bei Verwendung eines Graphitsuszeptors, welches die TC-Spitze in einem Sackloch aufnimmt)

Erweiterung des VSS-450-300 Systems (Pos. 1) um eine farbige Signalsäule mit verstellbarer Lautstärke

Technische Spezifikation:
Signalsäule an der festen Rückwand des Prozesssystems
Anzeige des Systemstatus durch visuelle und akustische Signale
Lautstärke über Potentiometer verstellbar

Verdopplung der Gesamtleistung und Erhöhung der Maximaltemperatur des RTP-150 Systems (Pos. 1)

Technische Spezifikation:
Erhöhung der Gesamtleistung des RTP-150 Systems auf 2 x 21 kW (erfordert zweites Stromversorgungskabel 3 x 400 V, 32 A)
Erhöhung der Maximaltemperatur von 1000 °C auf 1200 °C
Haltezeit hängt von verwendetem Kühlsystem ab
Aufheizrate: T < 1000 °C: bis zu 150 K/s
Aufheizrate: 1000 °C < T < 1200 °C: bis zu 100 K/s
Maximale Temperatur: 1200 °C (für eine maximale Haltezeit von 90 s)
Maximale Haltezeiten: 180 s @ 1100 °C, 10 min @ 1000 °C
Temperaturüberwachung mittels Thermoelement (Typ K) mit verbessertem Mantelmaterial
Lagerung der Spitze des Thermoelementdrahts in Quarzglasrohr zur Verhinderung des direkten Kontakts mit dem Si-Wafer

Safety Cover Option für VSS-Systeme

Technische Beschreibung:
Diese Option beinhaltet das Aktivieren/Deaktivieren der integrierten OPEN/CLOSE Taster an der Vorderseite des VSS-450-300 Systems, welche für das Öffnen/Schließen der Deckelhaube des VSS-Systems mit Hilfe von potentialfreien Signalen realisiert ist.
Fall 1: Pin 1 - Pin 2 offen -> Taster OPEN/CLOSE am VSS-System sind deaktiviert.
Fall 2: Pin 1 - Pin 2 geschlossen -> Taster OPEN/CLOSE am VSS-System sind aktiviert.
Das physikalische Interface dieser Option basiert auf einer 6-Pin-Buchse der Option VPO/VSS-RC (remote control, Fernsteuerung) und befindet sich auf der linken Seite des VSS-Systems.