Vakuum-Lötofen mit 3 Heizplatten (optional mit Lift pins)
Kleine Produktionsanlage für Serienfertigung
Das RSS-3x210 Lötsystem ist leicht bedienbar und durch seine kompakte Bauweise bestens für den Einsatz im Labor oder im
Reinraum geeignet. Die Kammer ist vakuumdicht und mit einem Sichtfenster ausgestattet. Dieses ermöglicht die Beobachtung des Lötprozesses.
Das Gerät ist standardmässig mit Mass Flow Controller für Prozessgas ausgestattet.
Es lassen sich z.B. bis zu 12 Wafer mit je 100 mm Durchmesser gleichzeitig prozessieren.
Das Lötgerät eignet sich unter anderem für folgende Anwendungen:
Spezifikation RSS-210-S (inklusive möglicher Optionen und Zubehör)
Max. Substratgrösse | 3 Heizzonen mit je 210 x 210 mm beheizter Fläche |
Max. Temperatur | Bis zu 300 °C, höhere Temperaturen auf Anfrage |
T° dauerhaft | 300 °C |
Aufheizrate | 120 K/Min. |
Abkühlrate | bis zu 90 K/Min. |
Substratkühlung | wassergekühlt |
Kammerkühlung | wassergekühlte Kanäle |
Vakuum | bis 10exp.-3 hPa, integrierter Drucktransmitter |
Flowmeter | Massendurchflussmesser für Stickstoff bzw. anderes Inertgas |
Gase | Inertgase, andere auf Anfrage |
Steuerung | SIMATIC© mit 7" Touch Panel |
Heizplatte | Aluminium, optional mit Lift Pins |
Kammerhöhe innen | 40mm, optional 80 mm |
Programme | 50 Programme speicherbar |
Ameisensäuremodul | auf Anfrage, 40ml Behälter, manuell befüllbar |
Wasserstoffmodul | auf Anfrage |
USB Kamera | Prozessbeobachtung mittels USB3 Kamera |
Abmessungen | 820 x 630 x 315 mm (B x T x H) |
Gewicht | ca. 100 kg |
Stromversorgung | 3 Phasen, 400V, 50/60Hz oder 100-115V oder 200-208V |
Direkter Kontakt |
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+49(0)8441-78 76 63 |
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sales@unitemp.de |