Vakuum-Lötofen mit 3 Heizplatten (optional mit Lift pins)
Das RSS-3x210 Lötsystem ist leicht bedienbar und durch seine kompakte Bauweise bestens für den Einsatz im Labor oder im
Reinraum geeignet. Die Kammer ist vakuumdicht und mit einem Sichtfenster ausgestattet. Dieses ermöglicht die Beobachtung des Lötprozesses.
Das Gerät ist standardmässig mit Mass Flow Controller für Prozessgas ausgestattet.
Es lassen sich z.B. bis zu 36 Wafer mit je 100 mm Durchmesser gleichzeitig prozessieren.
Das Lötgerät eignet sich unter anderem für folgende Anwendungen:
Technische Daten:
Optionen und Zubehör:
| RSS-EH | erhöhte Prozesskammer; Kammerhöhe 80 mm |
| FA I | externes Ameisensäuremodul mit eigener Gaslinie (MFC) |
| FA II | Ameisensäurefunktion mit interner Gaslinie und MFC |
| FA III | Ameisensäurefunktion mit geteilter Gaslinie |
| MFC | zus. Mass Flow Controller (max. 3 Stück) |
| Lift Pin | Lift pins zum Anheben und Absenken von 100mm Wafern |
| RSS-H2 | Wasserstoffmodul zur Verwendung von reinem Wasserstoff |
| RSS-H2S | Sicherheitsvorrichtung zur Vemeidung von unkontrolliertem Auslass von Wasserstoff |
| RSS-IL | Verschließmechanismus während des Betriebes |
| RSS-TC | zusätzliches Thermoelement zur Messung am Gut (max. 1 Stück) |
| WC II | geschlossener Kühlwasserkreislauf |
| VAC I | Basisvakuum bis 3 hPa, inkl. Vakuumsensor und -ventil, ohne Pumpe |
| VAC II | Komfortvakuum bis 10E-3 hPa, inkl. Vakuumsensor und -ventil, ohne Pumpe |
| MP | Membranpumpe für Vakuum bis 3 hPa |
| MPC | Chemieresistente Membranpumpe für Vakuum bis 3 hPa |
| RVP | Drehschieberpumpe für Vakuum bis 10E-3 hPa mit Ölfilter |
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Download |
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DB_RSS_3x210_FEB_2017 |
DBRSS-3X210Feb2017.pdf (1,7 MB)
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