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RSS 3X210

Vakuum-Lötsystem mit SIMATIC© Steuerung für 3 Heizbereiche mit für je 12 Wafer mit 100mm Durchmesser mit Liftpins

Made in
Germany
wartungs-
freundlich
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Konfiguration

Ameisensäuremodul
Gaslinie
Druckmessung
Vakuumpumpe
Ölpumpe
Wasserkühlung
Kammerhöhe
Falle für Ameisensäure
Wasserstoffmodul
Thermoelement
Feuchtigkeitsmessung
Restsauerstoffmessung
Interlock
Ampel
Sichtfenster Seite
Kamera
VCR
Switchbox
Spannung

Produktcode:

Produktpreis: auf Anfrage
Lieferzeit: auf Anfrage




Vakuum-Lötofen mit 3 Heizplatten (optional mit Lift pins)
Kleine Produktionsanlage für Serienfertigung

Das RSS-3x210  Lötsystem ist leicht bedienbar und durch seine kompakte Bauweise bestens für den Einsatz im Labor oder im
Reinraum geeignet. Die Kammer ist vakuumdicht und mit einem Sichtfenster ausgestattet. Dieses ermöglicht die Beobachtung des Lötprozesses.
Das Gerät ist standardmässig mit Mass Flow Controller  für Prozessgas ausgestattet.
Es lassen sich z.B. bis zu 12 Wafer mit je 100 mm Durchmesser gleichzeitig prozessieren.
 

Das Lötgerät eignet sich unter anderem für folgende Anwendungen:

  • flussmittelfreies Löten
  • Flip-Chip Prozesse
  • adhäsives Bonden
  • Solder Bump Löten
  • Löten von PGAs
  • Hitzebehandlung von Halbleiterwafern
  • Prototypenentwicklung
  • Qualitätskontrolle

Spezifikation RSS-210-S (inklusive möglicher Optionen und Zubehör)

Max. Substratgrösse 3 Heizzonen mit je 210 x 210 mm beheizter Fläche
Max. Temperatur  Bis zu 300 °C, höhere Temperaturen auf Anfrage
T° dauerhaft 300 °C
Aufheizrate 120 K/Min.
Abkühlrate bis zu 90 K/Min. 
Substratkühlung wassergekühlt
Kammerkühlung wassergekühlte Kanäle
Vakuum bis 10exp.-3 hPa, integrierter Drucktransmitter
Flowmeter Massendurchflussmesser für Stickstoff bzw. anderes Inertgas
Gase Inertgase, andere auf Anfrage
Steuerung SIMATIC© mit 7" Touch Panel
Heizplatte Aluminium, optional mit Lift Pins
Kammerhöhe innen 40mm, optional 80 mm
Programme 50 Programme speicherbar
Ameisensäuremodul auf Anfrage, 40ml Behälter, manuell befüllbar
Wasserstoffmodul auf Anfrage
USB Kamera Prozessbeobachtung mittels USB3 Kamera
Abmessungen 820 x 630 x 315  mm (B x T x H)
Gewicht ca. 100 kg
Stromversorgung 3 Phasen, 400V, 50/60Hz oder 100-115V oder 200-208V

 

 

 

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