Die Waferfixierung erfolgt mittels Vakuumansaugung. Folgende Schritte sind möglich:
Der Regler ist mit einem 2416 Eurotherm controller ausgestattet. Dieser ermöglicht das Speichern eines Programms mit 16 Schrtten. Die optional erhältliche USB Schnittstelle mit Wndows basierender UnSoft Software ermöglicht eine komfortable Programmierung am PC und ein Upload des zuvor erstellten/modifizerten Programms. Wir bieten die Quarz-Lift- bzw. Hebepins in verschiedenen Längen an - je nach Kundenwunsch.
Anwendungsbeispiele:
| Beheizte Fläche: | 155 x 155 mm |
| Lift Pins (option) HPP-155-L | 3 programmierbare Lift-/Hebepins |
| Temperaturberech: | bis 350 °C |
| Teilefixierung auf Platte: | mittels Vakuum |
| Programmierung: | USB mit Eurotherm 2416 Regler |
| elektrischer Anschluß: | 230 V, 1000 W |
| Abmessungen HPP-155: | 320 x 210 x 85 mm |
| Gewicht: | 4 kg |
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