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RSO-210-HV (Hochvakuum)

Hochvakuum Lötsystem mit SIMATIC© Steuerung für Substrate bis 200 x 200 mm

Made in
Germany
wartungs-
freundlich
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Lötofen Modell RSO-Serie

Technische Daten  RSO-210-HV:

  • Beladefläche  (max. Teilegröße): 200 x 200 x 40 mm (LxBxH)
  • Quarzglashalter (fest montiert) mit Graphitsusceptor
  • mit integriertem Gasein- und -auslass
  • 1 Mass Flow Controller für Stickstoff (5slm)
  • beheizt mittels 12 IR Lampen (9kW)
  • Unterhitze
  • Vakuum: mit externer Pumpe bis 10exp-6 hPA (Turbomolekularpumpe inklusive)
  • Ethernet Anschluss, SPS Steuerung, SIMATIC
  • 7" Touch Panel
  • max. Temperatur: 650 °C (optional bis 800 °C)

Optionen und Zubehör:

RSO-210-HV Basisgerät mit Hochvakuumausrüstung
RSO-MFC Gaslinie mit Mass Flow Controller (Ansteuerung und Regelung über Software; max. 4 Gaslinien)
H2 und Flame-off Wasserstoffmodul zur Verwendung von reinem Wasserstoff und Ablammvorrichtung
Hood L  Sicherheitsvorrichtung zur Vemeidung von unkontrolliertem Auslass von Wasserstoff
RSO-PC-xx zusätzliche Ofenkammer zur Benutzung mit einem Steuergerät (Doppelkammerofen); gleichzeitiger Betrieb von beiden Kammern nicht möglich
RTP200-QC Quarzkammer (empfohlen beim Einsatz von Ameisesäure)
RTP200-QTGT-206mm Quarzhalter für Graphitsuszeptor 206mm
RTP200-GT-201mm Graphitsuszeptor für 200x200mm Substratgröße
RSO-TC zusätzliches Thermoelement zur Messung am Gut; für externes Messgerät (max. 2)
WC III geschlossener Kühlwasserkreislauf

 

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