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RSO-300

RSO-300 für Wafer bis 300 mm

Made in
Germany
wartungs-
freundlich
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Lötofen Modell RSO-Serie

Technische Daten  RSO-300:

  • Beladefläche  (max. Teilegröße): 300 mm x 300 mm x 35  mm (LxBxH)
  • incl. Quarzglashalter und Quarzglasstern zum Aufllegen von 100mm, 150mm, 200mm oder 300mm Wafer
  • mit integriertem Gasein- und -auslass
  • 1 Mass Flow Controller für Stickstoff (5 nlm)
  • beheizt mittels 24 IR Lampen (18 kW)
  • Unterhitze
  • Vakuum: mit externer Pumpe bis 10exp-3 hPA 
  • Ethernet Anschluss, SPS Steuerung, SIMATIC
  • 7" Touch Panel
  • max. Temperatur: 650 °C

Optionen und Zubehör:

RSO-300 Basisgerät (bestehend aus Prozesskammer und Regeleinheit
RSO-MFC Gaslinie mit Mass Flow Controller (Ansteuerung und Regelung über Software; max. 4 Stck.)
RSO-FA Ameisensäuremodul, für flussmittelfreies Löten
RSO-GP Graphitplatte oder Suszeptor (optional mit SiC Beschichtung)
RSO-H2 Wasserstoff Modul mit Abflammvorrichtung
RSO-H2S Sicherheitsvorrichtung zur Vemeidung von unkontrolliertem Auslass von Wasserstoff
RSO-QC-300 Quarzkammer, auf Anfrage auch mit Deckel 
RSO-TC zusätzliches Thermoelement zur Messung am Gut; für externes Messgerät
RSO-VM Vakuummessung mit Sensor und Datalogging; bis 10exp-3 hPa
WC III geschlossener Kühlwasserkreislauf

 

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