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RSO-300

RSO-300 für Wafer bis 300 mm

Made in
Germany
wartungs-
freundlich
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Konfiguration

Ameisensäure
Gaslinie
Vakuum
Wasserkühler
Falle
Wasserstoffmodul
Thermoelement
Messung
Sicherheit
Switchbox
Befestigung Servicewagen
Haube
Quarzglas
Graphit
Spannung

Produktcode: RSO-300

Produktpreis: auf Anfrage
Lieferzeit: auf Anfrage




Lötofen Modell RSO-Serie

Technische Daten  RSO-300:

  • Beladefläche  (max. Teilegröße): 300 mm x 300 mm x 35  mm (LxBxH)
  • incl. Quarzglashalter und Graphit-Tiegel 260x260mm (optional: Quarz-Stern zur Aufnahme von 100mm-300mm Wafergröße)
  • mit integriertem Gasein- und -auslass
  • 1 Mass Flow Controller für Stickstoff (5 nlm)
  • beheizt mittels 24 IR Lampen (18 kW)
  • Unterhitze
  • Vakuum: mit externer Pumpe bis 10exp-3 hPA 
  • Ethernet Anschluss, SPS Steuerung, SIMATIC
  • 7" Touch Panel
  • max. Temperatur: 650 °C

Optionen und Zubehör:

RSO-300 Basisgerät (bestehend aus Prozesskammer und Regeleinheit
RSO-MFC Gaslinie mit Mass Flow Controller (Ansteuerung und Regelung über Software; max. 4 Stck.)
RSO-FA Ameisensäuremodul, für flussmittelfreies Löten
RSO-GPC-300 Graphit-Tiegel aus isostatischem Graphit 260x260mm
RSO-H2 Wasserstoff Modul mit Abflammvorrichtung
RSO-H2S Sicherheitsvorrichtung zur Vemeidung von unkontrolliertem Auslass von Wasserstoff
RSO-QC-300 Quarzkammer, auf Anfrage auch mit Deckel 
RSO-TC zusätzliches Thermoelement zur Messung am Gut; für externes Messgerät
RSO-VM Vakuummessung mit Sensor und Datalogging; bis 10exp-3 hPa
WC III geschlossener Kühlwasserkreislauf

 

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