HVS Serie

Hochvakuum-Verschlußofen mit 2 Heizzonen (mit Getter-Aktivierung)

Unter der Serienbezeichnung HVS hat UniTemp Verschlußöfen zum Verkapseln von MEMS unter Hoch-Vakuum (10-6 hPA) entwickelt. Die High Vacuum Sealer zeichnen sich durch kompakte Maße und ein relativ geringes Eigengewicht aus. Sie eignen sich für Labortische und die Serienfertigung. UniTemp bietet damit eine kostengünstige Alternative zu größeren Anlagen.

Die Geräte können gleichzeitig bis zu sechs Packagings verarbeiten und Komponenten zuverlässig hermetisch dicht verschließen. Die Besonderheit: Mit Hilfe unterschiedlicher Aufheiz- und/oder Abkühlraten der zwei Prozesszonen in einer Kammer können die Bauteile vor der Verkapselung bei unterschiedlichen Temperaturen bis 450 °C prozessiert werden.

Die offene Bauweise unter Glas erlaubt dabei eine ständige Beobachtung der Prozesse. Über die USB-Schnittstelle und die mitgelieferte Software UniSoft lassen sich beliebig viele Programme einfach erstellen und abspeichern.

  • Für 6 Komponenten (Adaptoren)
  • Substratgröße von 16 mm bis 42 mm ø
  • Bauteiltrennung während der thermischen Bearbeitung in zwei Temperaturzonen
  • Temperatur im unteren Heizbereich bis 450 °C (opt. bis 600 °C), im oberen Bereich bis 200 °C
  • Aufheiz- und Abkühlrate 20 K/min (im Vakuum)
  • Vakuumfähig 10-6 hPA inkl. Pumpe, Schieberventil und Vakuummessung
  • USB-Schnittstelle inkl. Software UniSoft
  • Versiegelung und thermische Verkapselung von MEMS (Mikro-elektro-mechanische Systeme)
  • Getter-Aktivierung (Abscheidung von reaktivem Material, das in einem Vakuumsystem platziert ist)

HVS-Modelle im Vergleich

2Z-HVS-100 2Z-HVS-200
Heated area 100 mm diameter 200 mm diameter
Adapter (Qty) max.6 pcs max. 6 pcs
Max. substrate size 16 mm dia. (max. size) 42 mm dia. (max. size)
Vacuum capability 10-6 hPA (pump included) 10-6 hPA (pump included)
Temperature max. bottom: 450 °C
top: 200 °C		 bottom: 450 °C
top: 200 °C
Temp. unifomity
Ramp up rate 20 K/min (in vacuum) 20 K/min (in vacuum)
Ramp down rate 20 K/min (in vacuum) 20 K/min (in vacuum)
Flow Controller Mass Flow Controller Mass Flow Controller
Cooling Chamber Water cooled Water cooled
Cooling Hot Plate Water cooled Water cooled
Controller SIMATIC® SIMATIC®
Dimension oven 200 x 500 x 470 mm 805 x 500 x 820 mm
Weight 24 kg + Pump 105 kg + Pump
Installation 230 V AC, 1P, 50 - 60 Hz
max. 16 A, 3,2 kW		 230/400 V AC, 3P, +N,
50 - 60 Hz, max. 3 x 16 A, 9 kW

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