VSS Serie

Vakuum Lötprozesse auch im kontaminierenden Bereich

Die VSS-Serie von UniTemp bietet Lösungen für diverse Lötprozesse mit Vakuum, Hoch-Vakuum (bis zu 10-6 hPa) oder mit Unterdruck an. Sie ist ideal für den Bereich Forschung und Entwicklung oder für eine kosteneffiziente Produktion mit hohem Durchsatz. Die Geräte lassen sich auch in bestehende Fertigungslinien integrieren.

Je nach Modell können damit Substrate von 300 x 300 mm bis zu 620 x 620 mm und einer Höhe von 75 mm bearbeitet werden. Die Aufnahme erfolgt dabei mittels Graphitplatte (andere Aufnahmen auf Anfrage). Das schnelle Erreichen von 10-3 hPa und präzise Aufheizraten garantieren kurze Prozesszeiten. Durch die gasdichte Trennung der Kammer von den Lampenfeldern eignen sich die VSS-Geräte u. a. auch für Prozesse mit Kontaminationsrisiko. Die Kammerwände können zusätzlich mit individuellen Durchführungen, z. B. für Fühler, ausgestattet werden. Die Bedienung erfolgt mittels Eingabe über das integrierte Touch-Panel. Die SIMATIC® Steuerung sorgt für eine einfache Handhabung und Profilerstellung.

  • Präzise Aufheiz- und schnelle Abkühlraten
  • 
Beheizung durch Infrarotstrahler 
Vakuum bis zu 10-3 hPa (opt. 10-6 hPa)
  • Temperatur bis zu 450 °C (opt. bis zu 650 °C)

  • Bis zu 4 Gasleitungen (Massen-Durchflussregler/MFC)
  • SIMATIC® Controller mit Touch-Panel
  • 50 Programme mit je 50 Schritten speicherbar

  • Bodenheizung

  • Kompakte Stellfläche
  • 
Fernbedienung möglich

  • 3 programmierbare Heizzonen
  • Kammerteile leicht zu reinigen
  • Lötprozesse mit und ohne Verwendung von Flussmittel
  • Betrieb mit Inertgas, Sauerstoff, Formiergas, Ameisensäure
  • Bleihaltiges und bleifreies SMT-Reflow-Löten
  • Einbrennen von Widerstandspasten
  • Wafer Bumping und Aufschmelzen von Lotkugeln
  • Flip Chip
  • Hermetisches Verkapseln von Gehäusen
  • Prozessieren von Hochleistungs-LED-Modulen
  • IGBT/DBC
  • Die Attach

Übersicht Reflow Lötöfen

Vacuum up to 1x10-3 hPa RSO-210 RSO-300 VSS-300 VSS-620
Vacuum up to 5x10-6 hPa Check Check Check Check
Max. substrate size 210x210 mm² 300x300 mm² 310x310 mm² 600x600x70 mm²
max. Temperature 650 °C 650 °C 450 °C 450°C (600°C opt.)
Chamber height 40 mm 40 mm 75 mm 75 mm
Max. ramp up rate 10 K/sec 10 K/sec 150 K/min 120 K/min
Max. ramp down rate Up to 200 K/min Up to 200 K/min Up to 200 K/min T=450°C > 350°C: 20K/min
Process gas line Mass Flow Controller
5 nlm Nitrogen Mass Flow Controller
5 nlm Nitrogen Mass Flow Controller
5 nlm Nitrogen Mass Flow Controller
40 nlm Nitrogen
Controller SIMATIC 7“ touch p. SIMATIC 7“ touch p. SIMATIC 7“ touch p. SIMATIC 12“ touch p.
Dimension (WxDxH) 505x525x570 mm 578x496x570 mm 550x690x890 mm 900x900x1535 mm
Weight 60 kg 70 kg 120 kg 480 kg

Optionen Reflow Lötöfen

Options RSO-210 RSO-300 VSS-300 VSS-620
Extended Chamber height -EH - - 120 mm On request
Temperature extension -HT 1000 °C On request 600 °C On request
Formic acid module with separate gas line incl. Interlock (external) FA I Check Check - -
Formic acid module with additional separate gas line (internal) FA II - - Check Check
Formic acid module with shared gas line incl. Interlock FA III - - Check Check
Formic acid module with automatic refill station FA IV - - Check Check
Oxygen analyzer (not tolerant against H2 traces) Ox I Check Check Check Check
Add. Gas lines with Mass flow Controller MFC Max. 4 pcs Max. 4 pcs Max. 4 pcs Max. 4 pcs
Add. Flexible thermocouple with external conn. TC I Max. 1pc Max. 1 pc Max. 4 pcs Max. 4 pcs
Add. Flexible thermocouple with internal conn. TC II Max. 1pc Max. 1 pc Max. 4 pcs Max. 4 pcs
Vacuum up to 3 hPa VAC I Check Check Check Check
Vacuum up to 10-3 hPa VAC II Check Check Check Check
Vacuum up to 10-6 hPa HV Check Check Check Check

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